二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9196360 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9196360
晶圓大小: 8"
SACVD System, 8" PLIS System Process: USG BPSG Robot Storage elevator Chemical gas cabinet (3) Chambers (3) Ozone generators (3) RF Generators.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一種多功能、高通量的等離子體加工工具,能夠根據廣泛的工藝要求產生高質量的結果。它是為精密蝕刻、沈積和表面修改應用而設計的。AMAT P-5000是一種串聯、批處理型設備,具有雙工藝室、集成的機器人加載系統和先進的等離子體控制算法。通過將先進的多源等離子體輸送系統與全自動過程控制相結合,APPLIED MATERIALS P 5000提供了無與倫比的過程控制水平、可重復性和產品質量。AMAT P 5000先進的工藝控制技術包括一個最先進的閉環控制單元,可根據工藝要求實時調整氣體和等離子體參數。這樣可以提高流程的可重復性和準確性,同時確保高質量的結果。AMAT P 5000還具有一系列先進的等離子體源,這些源可產生多種工藝氣體,包括N2、O2、CF4和SF6。這些氣源的存在使得能夠使用先進的工藝配方,從而增強機器的蝕刻和沈積能力。APPLIED MATERIALS P-5000還提供了高度的過程控制靈活性,允許用戶在操作過程中精確控制過程參數。這使得該工具能夠以最少的浪費產生高產量的優質產品。此外,資產允許操作員根據應用程序的特定需求調整過程變量,從而使調整過程優化成為可能。該設施還可以很容易地與外部過程控制設備集成在一起,從而能夠準確地執行更復雜的過程。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 Reactor是一種高度通用和強大的等離子體處理模型,專為生產級性能和高級工藝能力而設計。其先進的控制算法、集成的機器人技術和通用的氣源選項使其適合需要嚴格的過程控制精度的廣泛應用。其高吞吐量能力和快速調整過程參數的能力使其成為生產級別實施的一個有吸引力的解決方案,在這些實施中,時間和成本效率至關重要。
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