二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9196361 待售

ID: 9196361
晶圓大小: 8"
PECVD System, 8" Wafer sense Robot Storage elevator Ergo cassette loaders Electrical / Pump rack UNIT INSTRUMENTS, 1660 RF Matching network RIF Rack (2) EDOCS With rack Mini controller Monitor rack Heat exchanger Tool cables Lamp modules Nitride PARC (4) Chambers Missing parts: Process kits OEM Mouse Process: USG SiN.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種高性能的半導體加工反應堆,可以執行各種任務。它主要用於光刻、蝕刻、外延和植入等生產過程。AMAT P-5000具有一個大的225毫米腔室,能夠容納各種基板形狀。它有一個方便設置的原位適配器板以及一個水平安裝的排氣罩,以便更好地進行熱管理。APPLIED MATERIALS P 5000配備了兩個獨立的源插槽,可配置為提供步驟和重復(S&R)以及連續掃描(CS)的過程氣體輸送。這樣可以提高吞吐量,同時提供一致的結果。此外,AMAT P 5000還包括一個專有的Endura氣體管理設備,它允許用戶精確控制氣體流向工藝室。Endura氣體管理系統還具有自動清除過程,有助於減少停機時間並最大程度地減少浪費。P5000還配備了全方位的溫度控制能力。它具有一個高精度的溫度調節單元,可將腔室中的溫度保持在0.5°C +/−以內。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000還包括一臺區域操作控制(ZAC)機器,用於驗證整個基板的均勻性。此外,AMAT P5000可以與Endura標準或Advanced Gas Management Tool配對,使用戶可以利用無限數量的配方和自動氣體混合。由於其高性能和準確性,APPLIED MATERIALS P5000非常適合需要行業領先的產量、可重復性和周期時間的生產過程。它還能夠處理各種電壓和功率要求,並且可以容納直徑不超過11英寸的晶片。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS P-5000設計用於快速設置,使用戶能夠快速啟動和運行。P-5000具有卓越的性能和強大的設計,是任何半導體生產環境的完美解決方案。
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