二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9203417 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是一種多功能、生產規模的蝕刻和沈積工具。它是一個先進的真空處理系統，非常適合制造最先進的薄膜元件和設備。AMAT P-5000采用管狀單壁不銹鋼腔室，可靠性強，安裝方便。它高156.5厘米，位於一個雙壁不銹鋼外殼內，閉合直徑20英寸，壓力能力高達6托。腔室本身的標準抽水速度為106升/秒，容積為187升。APPLIED MATERIALS P 5000由多晶矽、鈦矽化物、氮化矽材料組成。APPLIED MATERIALS P-5000采用兩種主要成像配置；圓形圖像處理器和平面圖圖像處理器。圓形視圖處理器設計用於晶圓蝕刻和其他陣列處理,而平面視圖處理器允許完整的基板沈積過程。兩個處理器都依賴雙源照明，允許對整個腔室進行詳細的成像。P-5000由兩個FM-300電子電源供電,功率範圍高達800瓦,精密調節率為1%。高端電容器和轉子計可以精確控制蝕刻和沈積速率。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000采用全方位真空密封系統,包括氣體擋板、加熱滑軌、加熱器和電阻器以及特殊的冷凍冷卻器。這將密封所有工藝部件，消除潛在的泄漏點，並允許可靠的脈沖蝕刻到800W。該系統安裝在現代化的潔凈室中，具有良好的汙染控制，潛在的最低流速為3ppb顆粒，額定流量為0.5微米。獨立的鎖載室提供出色的晶圓處理，而易於使用的圖形用戶界面則允許快速高效的操作。P 5000旨在滿足質量保證和生產效率的最高標準,為大規模生產提供更好的產量和減少的缺陷。其先進的反應堆設計提供了出色的控制、可靠性和性能，使其成為同級中最可靠的工具集之一。