二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9203824 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一個5室單晶片反應器，利用反應室，以利於減少粒子汙染的化學過程。由於其獨特的設計和能力，非常適合廣泛的精密研發應用。AMAT P-5000是一個5室工藝，其中每個反應室的大小為1.25升，包括一個高級工藝控制模塊，以協調下遊工藝壓力和流速。這些腔室都與隔離閥相互連接，這有助於確保從一個腔室到另一個腔室的過程分離接近完成，並確保整個腔室的處理溫度範圍均勻。該設備還具有先進的溫度管理水平，通過使用先進的冷熱氣體控制，以及通過單一用戶界面管理的綜合大氣控制，可以精確控制每個室內的溫度。APPLIED MATERIALS P 5000的主要用途是執行需要精確溫度、壓力和流動能力的高精度過程。它能夠執行化學氣相沈積（CVD）和原子層沈積（ALD）等過程。腔室設計允許在所有腔室中實現精確和均勻的加工溫度，保證均勻水平的基板加熱，這對於CVD和ALD等高級工藝的均勻性和可重復性至關重要。定制的設計確保整個腔室密封，不允許任何工藝氣體從系統中逸出。AMAT P5000還具有先進的工藝控制和監測功能，以確保對腔室溫度、壓力、流量和大氣條件的精確控制。用戶界面允許手動或自動操作,並提供對所有流程參數的實時監控。該單元提供了一系列用於控制、安全和維護的硬件和軟件解決方案，使用戶能夠完全控制整個機器。總體而言,APPLIED MATERIALS P5000是一個高度可靠、精確和自動化的研發平臺,非常適合一系列精確的過程。該工具的溫度、壓力和流量控制能力，加上其精密的過程監控，為用戶提供了可靠、精確的過程平臺。