二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9210302 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種電感耦合等離子體（ICP）反應器,設計用於對圖樣和毯狀薄膜進行高效、精確的蝕刻。該反應器使等離子體組成和溫度分布在整個基板上均勻，提供極好的晶體質量和改進的蝕刻輪廓，變化最小。該設備完全自動化,具有高級流程控制、監控和遠程支持功能,能夠快速輕松地設置和訪問流程參數。AMAT P-5000由高效電子回旋共振（ECR）源提供動力，該源提供高密度等離子體和對蝕刻機理的高控制。ICP系統還具有混合脈沖頻率電源,具有優異的電氣性能和卓越的自上而下各向異性蝕刻效果。該單元設計為可在三個維度上進行蝕刻,以便對生產最先進的電子和光電元件所需的復雜3D結構進行陣列化。APPLIED MATERIALS P 5000的精密自動化流程通過圖形用戶界面進行管理，機器配備了先進的流程控制、監控和超壓功能。該工具能夠處理各種基材材料，如Si、SiO2、Si3N4和多晶矽，從而能夠產生低至25nm的微量模式和結構。P5000在蝕刻操作方面已被證明是高度可靠和高效的,它通過有效利用耗材、縮短工藝周期和提高真空資產性能提供了最高的吞吐量。此外,該型號設計為低維護和低成本,且停機時間最短。反應堆還便利清潔室友好型裝置和運行，對環境的影響最小。總體而言，P-5000是一種先進的ICP蝕刻設備，旨在提供周轉時間、一致的準確性和可重復的工藝結果。它的多用途特性使得能夠生產復雜的3D結構，從而能夠生產高度先進和可靠的電子和光電元件。