二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9210614 待售

ID: 9210614
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Wet etcher, 8" (3) Chambers Gas: SF6, CL2, Ar, He 1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種最先進的聚合物和半導體可重復工藝沈積設備,可為先進的半導體器件制造薄膜。AMAT P-5000非常適合需要可重復控制薄膜沈積的研發和制造應用。APPLIED MATERIALS P 5000提供了一個超高性能的過程環境,能夠在高效的單步過程中提供高質量、可重復的薄膜,使其成為一個高度通用和可靠的系統。此外,還可以輕松定制設備以滿足客戶的特定應用程序和流程要求。APPLICED MATERIALS P5000基於超高密度感應等離子體技術,創造了一個高功率高溫等離子體場,使等離子體增強型化學氣相沈積(PECVD)速率比傳統熱沈積工藝快3倍。該機采用自動轉塔,允許多種加工工具和加熱的基座臺,溫度範圍可達150 °C。這兩種工具均設計用於將薄膜均勻地沈積在直徑不超過8英寸的基板上。該工具能夠以10-100 Hz的頻率工作,允許超快速的薄膜沈積,並可精確控制多個參數,包括溫度、壓力和速度。APPLICED MATERIALS P-5000是一項可靠且用途廣泛的資產,為各種先進的材料沈積應用提供高精度技術。其強大的功能使AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000成為高性能、經濟高效的半導體器件研發和生產的理想選擇。此外,該模型提供了一個安全可靠的環境,具有多種環境控制功能,如集成安全門和自動等離子體關閉系統。所有元件都按照最高質量標準進行加工和制造,以確保可靠和一致的操作和性能。
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