二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9213671 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種用於半導體和其他相關應用的反應堆。它是化學氣相沈積反應堆的一種,也是工業上最常用的反應堆之一。AMAT P-5000的主要目的是使材料薄膜沈積在諸如矽片之類的基板上,以便為半導體器件制造元件。APPLIED MATERIALS P 5000反應器的堆芯為反應室,是一個約一立方英尺容量的不銹鋼真空室。在反應室內,熱液設備提供反應中會使用的氣體。然後,這種氣體供應與一種或多種前體氣體結合,並泵入腔室。腔室加熱到所需溫度範圍,並引發反應。此過程一直持續到所需的層被沈積,循環停止。與大多數其他沈積反應堆不同,P-5000的腔室是專門設計的,以確保材料在整個基板上均勻均勻的沈積。這是通過在腔室底部使用蜂窩狀結構來均勻分布熱氣體並確保均勻沈積來實現的。除了反應室外,P 5000還配備了一系列傳感器、閥門和控件,可以讓用戶監控和控制沈積過程。這些包括溫度、壓力和流量傳感器,以及一個控制面板,允許用戶調整氣體流量和功率等參數。最後,AMAT P 5000配備了一個計算機控制系統,允許用戶訪問沈積過程的詳細結果。此單元還可用於創建沈積參數日誌和跟蹤隨時間推移的進度。簡而言之,AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000是用於創建復雜半導體器件的通用、可靠且用戶友好的解決方案。它非常可靠、高效,非常適合工業應用。由於其校準精度的腔室、知識淵博的計算機控制機器以及可靠的氣流控制,它是任何半導體制造過程中必不可少的。
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