二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9214227 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種先進的反應性離子蝕刻器（RIE）系統,旨在用於矽片和其他硬質材料。利用強大的離子轟擊和均勻的等離子體生成，提高了蝕刻速率均勻性、蝕刻選擇性和工藝重復性。AMAT P-5000室由不銹鋼構成，並以限制汙染物和顆粒進入過程的方式封閉。它提供了負載鎖、晶圓處理系統和氣體輸送系統的選項。APPLIED MATERIALS P 5000與APPLIED MATERIALS P5000 Plus相同,唯一的區別是Plus型號中包含壓力控制器。AMAT P 5000配備了電子回旋共振（ECR）源，直接產生離子分布均勻的高密度等離子體。這一獨特功能使P5000與傳統的RIE系統脫穎而出。它還包括一個高功率HF匹配網絡，能夠產生非常廣泛的蝕刻功率。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000具有雙頻氣體噴射系統，在不同壓力下輸送蝕刻氣體，以保持整個腔室的壓力均勻性。系統的界面是用戶友好的，允許簡單編程復雜的蝕刻配方。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000可用於各種材料的蝕刻應用,包括矽、玻璃、石英和藍寶石。可用於將硬材料蝕刻成基板，如集成電路和晶圓級封裝元件。它還能夠進行深各向異性蝕刻，這是其他RIE系統很少能提供的獨特功能。P 5000在蝕刻硬質材料時具有許多優點。它可以提供極其均勻的蝕刻速率和高度可重現的蝕刻結果。其廣泛的蝕刻能力使其適合各種應用。離子轟擊的均勻性也有助於在整個底物上保持相同的蝕刻速率。其堅固的結構確保了長期的可靠性並降低了維護成本。