二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9217907 待售
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ID: 9217907
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
CVD System, 8"
Process: SIO
Process chamber:
Chamber A & B: SIO
Chamber D: ETCH
Chamber version:
Chamber A & B: VAT ISO Valve
Chamber D: Standard
RF Generator type:
Chamber A & B: OEM-12B
Dry pump type:
Chamber A, B, D & L/L: EBARA 50x20 UERR 6M-J
Throttle valve type:
Chamber A, B & D: Non heated
VME System:
20 Slots
CPU: Synergy
Video: VGA
SEI
AI
AO
(4) DI/DO
(4) Steppers
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Manometer type:
Chamber A & B: MKS 122B 11441
Chamber D: MKS 127
RF Matching box type:
Chamber A & B: 0010-09750D DR
Chamber D: 0010-09416
Turbo pump type:
Chamber D: LEYBOLD NT340M
System electronic type:
(2) TC Gauges
Buffer I/O
AI MUX
(2) OPTO
(4) Choppers
+12VPS
+15VPS
-15VPS
Storage elevator: 8 Slots
Cassette handler: Phase III, Top clamp
Robot: Phase III
Blade: Phase III
I/O Wafer sensor
Load lock purge
Heat exchanger:
AMAT0:
Connect to chamber A, B & D: Wall / LID
Main frame front type: Through-the-wall
Standard remote frame
TC Gauge type:
Chamber-A Rough: VCR
Chamber-B Rough: VCR
Chamber-D Rough: VCR
L/L Rough: VCR
L/L Chamber: VCR
Lamp module type:
Chamber A & B: STD 0010-09337
Mini-con
Magnet driver type:
Chamber A & B: P/N 0015-09091
Chamber D: P/N: 0015-70060
Signal tower
Gas panel type: (28) Gases
MFC Type (Main):
Chamber / Flow Gas / Flow size / Calibration gas / Maker / Model
B / SIH4 / 500 / N2 / STEC / SEC-4400
B / N2 / 5000 / N2 / STEC / SEC-4400
B / CF4 / 5000 / N2 / STEC / SEC-4400
B / N2O / 300 / N2 / STEC / SEC-4400
A / SIH4 / 500 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2 / 5000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / CF4 / 5000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2O / 300 / N2 / STEC / SEC-4400
D / O2/ 100 / N2 / STEC / SEC-4400
D / CF4 / 500 / N2 / STEC / SEC-4400
D / AR / 100 / N2 / STEC / SEC-4400
MFC Type (Remote):
Chamber / Flow Gas / Flow size / Calibration gas / Maker / Model
A / NF3 / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2O / 3000 / N2 / STEC / SEC-4400
B / NF3 / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
B / N2O / 3000 / N3 / STEC / SEC-4400
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種功能齊全的自動化加工工具,專為大容量半導體制造而設計。它經過精密設計,可實現卓越的性能,並提供一系列工藝配方和可配置的功能,以實現最大的通用性。AMAT P-5000提供了一個強大的加工室，可以處理大量具有更高吞吐量的基板。它有一個五區卡帶式的負載鎖和基板傳輸設備，以確保穩定的熱循環和可重復的工藝條件。該系統還提供用於監測溫度、壓力和其他環境參數的數字和模擬負載鎖定傳感器。反應堆擁有增強的自動化平臺，提供集成的DataBoss和Primus軟件，以簡化編程和設備管理。DataBoss Explorer軟件提供高級光學和人體工程學功能,以快速配置配方和優化過程結果。Primus軟件允許用戶預設配方，並訪問多個流程控制器，以優化配方進度和底物吞吐量。APPLIED MATERIALS P 5000配備Suite 200超高真空集群站，提供快速循環時間和出色的控制精度。該裝置還配備了VacGenEx雙槍單線沈積能力，提供卓越的沈積質量和吞吐量。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000具有廣泛的等離子體技術，包括電感耦合等離子體（ICP）、射頻偏置（RF）、微波等離子體和遠程等離子體源等離子體。所有這些等離子體技術都是為了提高工藝靈活性和產量而設計的。該機還具有精密溫度控制的加熱和冷卻能力。APPLICED MATERIALS P5000可以使工藝氣體排空,從而最大程度地節省維護成本,並支持最多8個反應堆以提高吞吐量。它與多種基材和基材類型兼容，包括結晶矽、GaAs和玻璃。AMAT P5000配備了集成的安全功能，其中包括移壓監測、慣性傳感器和防靜電接地系統。它還具有高級報告和分析功能,使用戶能夠快速分析數據並確定可能影響設備產量的性能趨勢。
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