二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9226220 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9226220
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
CVD System, 6" 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種用於對產品和材料進行熱和化學處理的工具。主要用於蝕刻、沈積和氧化等工藝。該反應堆在400°C至1000 °C的高溫下運行,密度高達15W/cm2。它能夠為熱阻塗層等應用制造薄膜,為半導體應用制造先進的氧化工藝。AMAT P-5000是一個2區反應堆,這意味著它有兩個可以在不同時間獨立操作的材料箱。它也有兩個石英石英加熱器位於每個桶的底部和中間,有一個3面的面板,允許工藝氣體與材料同時相互作用。反應室被設計成具有密封的大氣,並保持在一個特定的壓力下,這樣可以對材料進行更精確的溫度、持續時間和功率控制。APPLICED MATERIALS P 5000利用雙電位控制器控制熱和化學操作過程中的功率。此控制器設計為用戶友好且易於使用用戶選擇的參數和設置進行編程。此外,其高度精確的溫度、壓力和持續時間控制功能使用戶能夠隨著時間的推移獲得更高的工藝準確性和可重復性。P 5000還包括安全功能,如緊急情況下的緊急關閉開關和氧氣傳感器,為安全起見監測室內的O2水平。此外,該設備還配有耐化學不銹鋼外殼,以防止腐蝕或反應室進一步磨損。AMAT P5000的應用包括薄膜沈積和濺射過程、氧化和氮化物氧化過程、電化學和激光燒蝕過程。它也非常適合動力裝置封裝、生物醫學植入塗層和多金屬/合金薄膜的應用。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000是一個高度通用和可靠的系統,適用於許多熱和化學過程。它的安全特性和精確的控制能力使其與同類中的其他工具脫穎而出,使用戶可以一次又一次地實現可重復和一致的結果。
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