二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9226363 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一個大面積、單晶圓功率反應器,專為高生產率電阻和電容蝕刻應用而設計。它是第一個具有5英寸晶圓能力的電源蝕刻器。該工具采用多級雙向等離子體源，四個電極配一個可選的第五個電極，以及一個可調雙離子基窗口。大面積蝕刻室允許單批最多五個晶片，提供更高的吞吐量和更少的工藝周期。AMAT P-5000具有多個氣體註入口，允許更多的氣體註入蝕刻室內，從而使蝕刻過程更好的一致性和控制。該工具還包括一個背面冷卻組件，為蝕刻室內的所有晶片提供均勻冷卻。這有助於確保每個晶片接受均勻的蝕刻和冷卻。該工具還提供了一個集成的過程監控系統，具有自動氣體調平、溫度控制和射頻實時過程監控系統。集成電源控制蝕刻室內的功率水平，氣流控制監控氣流通過晶圓。APPLIED MATERIALS P 5000還有一個自動過程跟蹤系統，以確保準確和可重復的蝕刻結果。P 5000具有先進的過程控制,允許用戶自定義過程參數以實現所需的產品結果。這包括調整蝕刻電流水平、峰值功率和持續時間以及調整射頻脈沖寬度等參數。此功能使該工具特別適合於高級制造過程。P-5000還提供了許多安全功能,包括擴展的屏蔽蓋托盤、金屬碰撞檢測和有限的輻射泄漏。該工具還自動檢測晶圓斷裂和其他安全警報。綜上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是一個大面積的單晶圓功率反應堆，設計用於高生產率電阻和電容蝕刻應用。它具有多級雙向等離子體源、四個電極和一個可選的第五個電極，以及一個可調節的雙離子基窗口。該工具還包括集成的過程監控、高級過程控制以及許多安全功能,使其成為高級制造過程的理想選擇。