二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9226604 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應器是一種高性能、高通量、大面積等離子體浸沒離子植入（PIII）設備。它是一個批處理類型的系統，其中組件被放置在一個封閉的腔室中，其中創建了一個等離子體。AMAT P-5000能夠加工直徑達8英寸、長度達12英寸的基板，適合大規模生產。APPLIED MATERIALS P 5000有幾個不同的特性，使它與其他PIII系統不同。它具有三區定制設計的射頻濾波器組，具有高頻和低頻天線組件。這些濾波器可最大程度地減少不必要的功耗,並確保更高的低頻處理。該裝置可以分批運行，也可以連續運行，操作員能夠控制停留時間和過程溫度，最大限度地提高吞吐量。機器的功能還包括自動特征識別和實時監控過程參數的能力,從而確保了最高質量的結果。該裝置采用油箱內電極設計，通過消除手動轉移和搬運，簡化了後處理。P-5000還具有堅固的真空室和持久的材料,可提供最大的正常運行時間和吞吐量。該腔室是為非常高的真空而設計的，包括一個用於快速基板轉移的集成負載鎖，以及一個高流量沖洗工具和射頻籠，以盡量減少顆粒物汙染。該腔室還具有多點快速樣品加載功能，使操作員能夠快速將基板進出腔室，提高整體加工時間。此外,P5000還具有高度可配置和用戶友好的控制資產。基於Windows的集成界面簡化了模型的操作,包括高級功能,如過程監視、數據記錄和配方控制,以實現最高的效率。這些設備還允許整合客戶提供的用於過程控制和監控的軟件。AMAT P 5000是大型生產工作的絕佳選擇。其強大的設計和高性能功能可實現最高的性能和優異的最終效果,使其成為許多生產應用程序的理想選擇。
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