二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9232761 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種電子植入微電子裝置，設計用於在集成電路中可靠地形成接觸凸點和互連結構。反應堆通過在單個平臺上提供高溫、高真空、無氫的工藝能力來實現這一目標。AMAT P-5000反應堆裝有一個可加熱的貝爾罐、一個基板加熱器和多個電極。可熱的鐘形罐是一個玻璃管，在真空中操作，包含多個熱點。基板加熱器用於均勻、準確地控制基板溫度。連接到電源的多個電極用於產生電弧，提供快速可靠的退火或植入接觸凸點和互連結構的方法。APPLIED MATERIALS P 5000反應堆的組件都能達到高達1500 °C的溫度，真空水平小於6.4e-4 torr。該系統還包括一個自動氣體輸送系統，允許靈活的過程配方。這允許用戶精確控制加工中使用的有害物質的溫度、壓力和流量。APPLIED MATERIALS P5000反應堆設計為在極端條件下運行,具有可重復性和可靠性.功率控制系統具有數字脈沖寬度調制功能，可實現電弧的精確控制。反應堆有多個腔室，可同時進行多個過程。這允許多個用戶應用各種各樣的晶圓尺寸和模具尺寸。此外,可選的靜電卡盤（ESC）允許精確控制基板和晶圓機電參數,使電流均勻地流向工藝位置,並有助於減少因模模不一致而產生的可變性。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反應堆提供先進的功能,如射頻（RF）發生器和紅外（IR）相機。射頻發生器確保任何具有射頻元件的設備在安全準則內操作,以防止設備發生故障。紅外攝像頭可幫助用戶快速識別溫度較高的區域,從而實現更快、更準確的過程。P5000反應堆體積小，能夠在最小空間內進行有力和可靠的處理，從而節省了成本。模塊化組件和集成功能提供了可擴展性和靈活性，使P-5000反應堆成為各種電子植入物微電子應用的理想選擇。