二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9237058 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一個反應堆或沈積室,使科學家和工程師能夠在受控大氣中將材料的薄層精確操縱、沈積和生長到各種基板上。它是一種低溫加工工具,采用等離子體增強型化學氣相沈積(PECVD)技術,比傳統化學氣相沈積(CVD)方法提供更快的沈積速率,更均勻性和更好的階躍覆蓋。AMAT P-5000設計為易於使用和高效的系統,具有一系列可行的過程,使客戶能夠在各種條件下將物料沈積到基板上,並對現有表面進行簡單的清潔和退火。該反應堆可用於沈積多種材料,包括氮化矽、介電氧化物和無定形碳,以及矽、的沈積、和其他金屬。APPLICED MATERIALS P 5000由幾個關鍵部件組成,使其能夠高精度地精確控制和沈積材料薄層。這些部件包括通風的外殼和真空室、帶支架的基板表、沈積源和自動化工藝閥。外殼使腔室保持真空狀態,從而為沈積過程提供精確和穩定的環境。基板支架在加工過程中牢固地將基板固定到位, 沈積源從惰性氣體分子產生高能等離子體, 這是將材料的薄層沈積到基板上所必需的, 自動過程閥可以打開和關閉以允許材料進入,以及在過程中產生的廢氣。P 5000旨在確保一個精確、高質量的沈積過程,同時也是高效的。沈積室配有高效的熱控制系統,使科學家能夠最大限度地減少沈積過程中基板上的熱負荷。此外,該系統旨在最大限度地減少氣體和能源使用,從而提高效率和節省成本。總體而言,應用材料P5000是一個用途廣泛、高效且易於使用的沈積室,它使科學家和工程師能夠以精確和準確的方式將材料薄層沈積到各種基板上。其低溫處理能力以及高效的能源和氣體使用特性使其成為研究、開發和制造應用的寶貴工具。
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