二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9238728 待售
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ID: 9238728
晶圓大小: 8"
優質的: 1993
CVD System, 8"
Process: SION
Process chamber A, B & D: SION
RF Generator type:
Chamber A & B: OEM-12B
Chamber D missing
Dry pump type:
Chamber A, B, D & L/L: EDWARDS QDP40 / QMB250
Throttle valve type:
Chamber A, B & D: Non heated
VME System:
20 Slots
CPU: Synergy
Video: VGA
SEI
(2) AI
(2) AO
(4) DI/DO
(4) Steppers
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Process kit type:
Chamber A, B & D: SIN
Manometer type:
Chamber A: MKS 122B 11441S
Chamber B & D: MKS 122B 11441
RF Matching box type:
Chamber A, B & D: 0010-09750 DR
System electronic type:
(2) TC Gauges
Buffer I/O
AI MUX
(2) OPTO
(4) Choppers
+12VPS
+15VPS
-15VPS
Storage elevator: 8 Slots
Cassette handler: Phase III, top clamp
Robot: Phase III
Blade: Phase III
I/O Wafer sensor
Load lock purge
Heat exchanger:
AMAT0:
Connect to chamber A, B & D: Wall / LID
Main frame front type: Through-the-wall
Standard remote frame
TC Gauge type:
Chamber-A Rough: VCR
Chamber-B Rough: VCR
Chamber-D Rough: VCR
L/L Rough: VCR
L/L Chamber: VCR
Lamp module type:
Chamber A, B & D: STD 0010-09337
Mini-con
Magnet driver type:
Chamber A: P/N 0010-50169
Chamber B & D: P/N 0015-09091
Gas panel type: (28) Gases
MFC Type (Main):
Chamber / Flow Gas / Flow size / Calibration gas / Maker / Model
B / SIH4 / 500 / N2 / STEC / SEC-4400
B / N2 / 5000 / N2 / STEC / SEC-4400
B / NF3 / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
B / N2O / 300 / N2 / STEC / SEC-4400
A / SIH4 / 500 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2 / 5000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / NF3 / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2O / 300 / N2 / STEC / SEC-4400
D / SIH4 / 500 / N2 / STEC / SEC-4400
D / N2 / 5000 / N2 / STEC / SEC-4400
D / NF3 / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
D / N2O / 300 / N2 / STEC / SEC-4400
MFC Type (Remote):
Chamber / Flow Gas / Flow size / Calibration gas / Maker / Model
B / N2O / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
B / N2O / 3000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2O / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2O / 3000 / N2 / STEC / SEC-4400
D / N2O / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
D / N2O / 3000 / N2 / STEC / SEC-4400
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種反應堆,特別是一種長桶高溫擴散爐,用於將矽膠、玻璃、陶瓷等材料沈積到基板上。這種設備的設計提供了非常穩定的操作,並具有幾個特點,使其非常適合在各種行業中使用。AMAT P-5000的設計是為了提供快速的熱處理,這對生產高質量的產品非常有利,並確保低缺陷率。這要歸功於眾多功能,例如風扇強制空氣流通系統、數字觸摸屏界面以及一系列用戶可編程設置。數字觸摸屏界面易於使用,可快速控制操作和自定義設置。APPLIED MATERIALS P 5000還具有長槍管設計,確保整個槍管溫度一致。溫度均勻性進一步增強,這要歸功於循環裝置,它在整個槍管內保持一致和均勻的溫度。此外,這臺機器還具有許多安全功能,如自動關閉和自動減壓裝置,以確保安全運行。AMAT P 5000旨在容納多種材料,如矽、玻璃、陶瓷等。這使得反應堆能夠在一系列不同的行業中使用,如電子、汽車和航空航天,以便生產質量異常高的成品。總體而言,APPLIED MATERIALS P5000是一種長桶高溫擴散爐,旨在提供快速的熱加工和高品質的產品。該反應堆具有一系列技術先進的功能,如風扇強制空氣循環工具和數字觸摸屏界面,以確保安全和一致的運行。它能夠處理各種不同的材料,因此能夠成功地在多個行業中使用,以便生產出質量卓越的成品。
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