二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9245114 待售

ID: 9245114
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
PECVD System, 8" With (2) process chambers 1994 vintage.
AMAT(應用材料)AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種水平、單晶圓反應器,通常用於加工半導體器件制造中所用的矽和砷化的材料。它是一種高精度的工具,旨在提供在使用半導體器件生產中使用的敏感材料時所必需的準確性和可重復性。AMAT P-5000具有一系列特性和功能,可用於定制反應室以滿足用戶的特定需求。APPLICED MATERIALS P 5000由AMAT/APPLICED MATERIALS Endura Electronics控制提供動力,有源腔室尺寸為8 x 8英寸(20.6 x 20.6厘米),可在29hPa至700hPa(0.1至5 torr)的壓力下運行。此外,P 5000可與一系列不同的反應性氣體配對,並支持多種溫度控制方法,包括電阻加熱和熱冷卻器。APPLICED MATERIALS P-5000的最大坡道速率大於每分鐘600°C,其設定點精度大於0.1°C。腔室的內壁具有動態指示應力隔離技術(DIST),該技術旨在保持一致的溫度輪廓,確保樣品不暴露於任何顯著的熱梯度。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000具有全方位的監控功能,包括過程監控、真空室、壓力和流量控制、溫度控制以及數據記錄。APPLIED MATERIALS P5000旨在與其他AMAT處理系統(包括其Endura和Centura工具系統)以及waferware自動化軟件無縫集成。這允許各種自動化級別,並為用戶提供了一種高效且經濟高效的方法來實現其期望的結果。總體而言,AMAT P 5000是一種高精度反應堆,旨在提供敏感半導體器件所需的準確性和可重復性。
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