二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9248920 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應器是一種等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器，設計用於電子和光電應用的外延增長。它為多種材料的高質量外延層提供了高速率的沈積。反應堆有150毫米的平行板設備，可擴展到其他尺寸。AMAT P-5000反應器具有四個不同的過程等離子體：感應耦合等離子體（ICP）、直流電（DC）或脈沖直流（PDC）源。它能夠維持10-100毫升之間的等離子體。它針對低功耗、高效的工藝進行了優化，為高速率外延提供了廣泛的工藝壓力和沈積速率。APPLICED MATERIALS P 5000系統包括先進的氣體輸送模塊和柔性反應堆間腔室。單位還配備了實時腔室壓力監測等多種診斷工具；現場和實時沈積率監測；可變源功率；具有冷卻能力的基板溫度控制；自動端點檢測；以及集成的多波長光譜。所有診斷工具都旨在通過基於實時控制優化過程來縮短過程時間。AMAT P 5000機還提供了整個基板區域極好的溫度均勻性.這允許均勻的薄膜層沈積和更好的產率。該反應堆經過優化，可用於以氨為基礎的工藝以及其他化學方法。該工具專為易於使用和高吞吐量操作而設計。它易於設置和校準,使用自動診斷和配方,用戶可以快速選擇流程和可調整的參數。P5000資產的設置是為了與基於模型的控制軟件和數據可視化軟件兼容。總之，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反應堆是一種先進的PECVD模型，針對低功率、高效的工藝進行了優化。適用於各種應用，均具有優質薄膜沈積、均勻性、可靠性等保證。它還易於設置和校準,以及其他高級編程選項,以實現最高的精度。