二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9249468 待售
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ID: 9249468
CVD System, 6"
Install type: DLH
Wafer shape: Lamp heated
EMO Type: Turn to release
Gas panel: (3) Chambers
Clean system: RF Clean
AC Rack
Generator rack
Monitor rack
Heat exchanger
(3) Chamber type:
Chamber A: DLH SA Chamber
Chamber B: DLH SA Chamber
Chamber D: DLH SA Chamber
Loadlock: 8 Slots
Cassette, 6"
Vent type: Variable speed
Mainframe:
Buffer robot type: P5000
Buffer robot blade: Blade
Status light tower
Remote monitor: Table mount
Sub-system:
AMAT-0 Chiller
(3) ADTEC AX-1000AM II RF Generators
Electrical configuration:
Line voltage: 208 V
Full load current: 180 A
Frequency: 50/60 Hz
CE Marked
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一個專門設計用於提供統一和可重復處理結果的熱處理室。這種反應器是一種理想的解決方案,用於各種需要均勻溫度和大氣控制的基於真空的過程。AMAT P-5000配備了先進的雙室設計,具有兩個可同時使用的獨立隔間。集成的晶圓傳輸設備提供各種樣本量的易於操縱和受控移動。該系統還包含兩個主控制器-主控制器和負載鎖定控制器-可用於不同的配置。APPLIED MATERIALS P 5000單元提供了一系列動態控制功能,使用戶可以精確地微調其過程以獲得所需的性能結果。這臺機器由一個自動清洗的薄膜環狀加熱元件提供動力,確保平均分布溫度在10°C至800°C之間。此外,該工具還配備了強大的進氣冷凍泵,可確保快速真空操作。此外,堅固耐用的水冷鼓風機可確保充分控制和無失真處理,提供高精度的結果。通用的P-5000反應堆還配備了一個可調的高性能蓋子,能夠方便地訪問樣品轉盤。蓋子在兩室配置中容納四個不同的旋轉木馬,提供充足的樣品容量。高級靈活性允許用戶安裝各種晶圓大小和形狀,包括圓形、正方形和矩形。P5000反應堆具有多種安全特性,在處理有害物質時至關重要。工業級腔室密封資產提供了防止化學品暴露和潛在事故的關鍵保護,而綜合緊急停止模式則防止失去操作控制。P 5000還具有多種軟件驅動功能,包括高級數據記錄功能和以太網連接。此設備提供了對數據導出和導入的輕松、安全的在線訪問,並實現了與現有工廠網絡的高級集成,以簡化流程監控、自動數據采集等。總體而言,AMAT P5000是一個高級熱處理室,專門設計用於在各種高精度真空過程中提供高級均勻性、可重復性、靈活性和安全性。
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