二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9255615 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Ion Implanter是一種高電流植入器，能夠將廣泛的摻雜物種高通量植入大型基質中。它采用4-Megawatt放大器設計，能夠產生1000 Hz至10 kHz的植入槍頻率，劑量均勻度+/− 0.5%。這使得生產高度均勻的摻雜劑不會產生空間變化。AMAT P-5000在半導體過程中具有特殊的植入能力，包括源/漏、柵極和矽化物。其改進的光束管理提供了離子束的類似基板的精度，從而使濺射最小，改進了過程控制和更高的吞吐量。APPLICED MATERIALS P 5000利用一把足夠大的槍註入最大8英寸寬的半透明基板。它有一個400萬伏的放大器，可以用來提供高達2000安培的電力槍。這種將中和離子束與巨大的光束電流結合起來，最大程度地減少了光束的大小、邊緣效應和均勻性。集成的等離子體源還優化了包括SiGe、III-V化合物等在內的新材料的植入。AMAT P5000ion植入器是半導體和MEMS處理最有效的工具之一。這種植入器設計用於高通量生產環境，在這種環境中，均勻性和準確性至關重要。它具有發射光束的能力，可以很容易地針對各種各樣的應用進行調整。其集成的等離子體源和4-Megawatt放大器使其能夠均勻地影響各種摻雜物質的材料。此外，其高通量能力，提高了能量靈活性，改進了光束管理和光束尺寸控制，使其成為芯片制造的理想工具。