二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9255618 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種多室、多級真空工藝設備,專為高級器件結構和高級封裝等超高性能半導體應用而設計。AMAT P-5000是一個多室系統，旨在精確控制這些應用所需的真空過程步驟範圍內的溫度和氣體。它具有主室、盾構室和工藝室以及四個預先清潔室的八室設計。主室有一個預裝有反應性處理管的底板，而盾構室則裝有溫度較高的爐，在過程中提供額外的熱保護。該工藝室包括三個沈積設備來源：微波源；電子回旋共振源；和一個漂移室源。該股包括先進的過程情報和綜合控制系統以及各種安全和監測系統。流程智能軟件用於允許自動啟動優化流程配方，而集成流程和安全監控系統則有助於保持最大效率和性能。此外，該機器還具有觸摸屏界面，可用於監測和控制功率水平、等離子體參數、溫度和過程所需的其他要求。該工具的設計目的是處理用於次Ånm生產的脫鉤工藝,以及涉及功能低於50 nm的高度溝槽的晶片的工藝。它設計用於在超低溫下運行復雜的雙組合物和雙層沈積組合以及順序蝕刻和沈積步驟，而不會在多個階段進行循環。除了上述特性外,APPLIED MATERIALS P 5000還利用了幾種創新技術,如專有的射頻源激發、先進的離子束源、先進的腔室幾何形狀和運動光學。這些技術可以實現塗層和圖案的高速和均勻性。P-5000還提供了雙層設施布局,以實現卓越的可及性和維護。總體而言,APPLIED MATERIALS P-5000是一種多室、多級真空工藝資產,專為超高性能半導體應用而設計。它具有先進的過程智能和集成控制系統、各種安全和監控系統以及創新的雙層設施布局。憑借其先進的技術，該模型能夠為高度先進的半導體生產應用提供驚人的速度和均勻性。