二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9256416 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一種最先進、高效的等離子體沈積室,旨在提供工業生產環境中關鍵的界面工程和工藝能力。開發此工具的目的是在強大的設計中提供各種過程機會,從而實現快速設置和可重復的高性能沈積結果。AMAT P-5000反應器具有高溫（450 °C）真空室和鋁合金腔室襯裏。在內部，一個多火炬氣體噴射系統是能夠等離子體輔助氧化物和氮化物膜沈積。該設計還具有出色的能量波形能力，包括使用高功率磁控管源進行脈沖波調制，從而能夠精確控制材料沈積速率和層。APPLICED MATERIALS P 5000反應堆具有高效的節能設計，非常適合高性能沈積工藝。在精確度和精度方面，該工具能夠對離子源、基板幾何形狀和表面溫度進行精確管理。其集成的雙室結構意味著可以設置兩組獨立的沈積參數，以滿足具有挑戰性的要求。此外,還可以使用強大但靈活的「切換」開關來調節薄膜沈積,從而在沈積過程中增強薄膜性能。除了堅固的設計外，P-5000反應堆適合與各種底物一起使用。特別是，它非常適合矽片以及玻璃、復合材料和聚酰亞胺等溫度敏感的基材。此外，它與多種材料的兼容性允許多層堆棧的復雜沈積，這在許多制造應用中通常是必需的。AMAT P 5000反應器是一種強大的沈積工具，能夠支持一系列精確的沈積要求。其強大的設計允許精確和可重復的高性能沈積結果與工藝參數的精確控制。其多火炬氣體註入系統具有精確的材料沈積速率和層狀膜沈積能力。憑借其高效的節能設計和廣泛的基板兼容性，這款尖端工具能夠滿足許多工業生產應用的精確要求。