二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9256417 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor，又稱原子層沈積（ALD）工具，是一種先進的薄膜沈積設備，用於制造厚度精確均勻到納米尺度的薄膜。它配備了化學氣相沈積（CVD）聚類工具，可以同時作為ALD和CVD系統操作。AMAT P-5000具有三個過程室，允許在兩個同時沈積中使用兩種不同的化學物質。它可以用來沈積厚度一致的薄膜，即使在復雜的特征上，同時實現高均勻性和順應性。APPLICED MATERIALS P 5000可以處理多種晶圓尺寸，其靈活的批量大小選項使其既適合大型生產應用，又適合小型研究項目。它能夠進行多種工藝，如低溫高溫ALD和真空沈積膜。它還支持廣泛的氣體，包括氧氣、氙氣、氮氣、氫氣和其他幾種氣體。該單元擁有一個全面的軟件包，為用戶提供對機器及其流程的全面控制和監控。這包括一個直觀的圖形用戶界面,以便於瀏覽工具設置。該軟件還包括用於監控資產健康和安全的報警功能，以及高度的流程可重復性，使得從批次到批次重現相同的結果變得容易。P5000是一種用途廣泛、功能強大的薄膜沈積模型。它可以用來創建具有極精確厚度控制的一致且均勻的原子層沈積。它的先進功能，如直觀的軟件和全面的安全機制，為用戶提供了對其合成薄膜沈積的完全控制。AMAT/APPLIED MATERIALS能夠處理各種晶圓尺寸,並提供靈活的批量大小選項,P-5000大型生產應用和小型研究項目的理想選擇。