二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9262471 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是用於集成電路制造的先進等離子體處理工具。設計用於生產具有均勻特性的高密度、超低溫金屬納米翅目。它的特點包括一個現場診斷系統和一個自動射頻發生器，幫助確保等離子體處理是可重復和可靠的。此外，其先進的設計提供了一個超高縱橫比的電極和基板面積為產品的最佳質量。AMAT P-5000反應器由離子源、電離器和底物組成。離子源是一個裝有等離子體並由微波能量驅動的陶瓷室。電離器產生非常強的電場將氣體分子分解成它們的正負離子，而底物則持有金屬-氧化物-氮氧化物（MONO）層。位於腔室中的屋子電容電極，由於它們的旋轉布置，有助於保持等離子體在整個基板上的均勻性。APPLICED MATERIALS P 5000使用全面的多步等離子體處理工藝，以達到高密度、低於10nm的分辨率。這包括初始等離子體預處理步驟和氧化物蝕刻，然後是主要氣體步驟，最後是清潔和後處理步驟。預處理步驟可確保進行低溫處理,並在創建圖樣之前清潔基板。它也可以由於等離子體的高離子能量和高溫而起到蝕刻劑的作用。主要氣體步驟由多種氣體組成，以激活基板，以及蝕刻/去除圖樣化的MONO層。最後，清潔步驟從基板表面清除任何殘留氣體，恢復MONO層的完整性。P5000的卓越功能允許使用現場診斷系統生產精密的高質量設備,該系統可以識別任何問題的原因和時間。這與自動射頻發生器相結合，有助於在整個基板上保持一致，確保公司的競爭優勢。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000也是高度可定制的,允許根據客戶的需要定制設計。總體而言，APPLIED MATERIALS P-5000是一種先進的等離子體加工工具，有助於生產具有統一特性的超精密金屬納米翅膀。