二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9262476 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是一種多室設備，設計用於產生大量復雜的蝕刻和沈積任務。它基於PECVD（等離子體增強型化學氣相沈積）的概念，經過設計，在等離子體蝕刻和沈積過程中提供出色的控制和精度。AMAT P-5000特別具有兩個腔室單元，兩個常規沈積源和一個射頻偏置蝕刻腔室。這兩個腔室單元可以進行多功能處理，而每個腔室可以單獨配置，以滿足廣泛的生產要求。在每個腔室單元中，一個PECVD源被兩個常規沈積源包圍。等離子體增強型PECVD源被用作反應堆的堆芯，旨在提供出色的工藝靈活性和控制。它可以用於選擇性過程、電影或精確的模式。這兩個傳統的沈積源提供了標準的沈積過程，如熱反應和蒸發。此外，該系統還配備了高級蝕刻室，這是一個專有的射頻偏置單元，旨在提高蝕刻性能。APPLIED MATERIALS P 5000結合了先進的過程控制與穩健的機械布局，提供了卓越的精度和可重復性以及高吞吐量。利用最新的等離子體蝕刻和沈積工藝，該裝置可用於生產具有卓越均勻性和質量保證的多種部件和基板。該平臺還兼容了廣泛的材料，包括Si、GaN、AlN、Mo、Ta等幾種材料。AMAT P 5000反應堆是尋求在堅固靈活的機器中生產優質蝕刻沈積元件的客戶的絕佳選擇。利用先進的控制和可靠的機械布局，該工具能夠產生出色的蝕刻和沈積效果，具有快速的周轉時間和成本效益。