二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9266344 待售
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已售出
ID: 9266344
晶圓大小: 8"
優質的: 1999
System, 8"
System skins: Side skins
No helium cooling system
RF Cable position interlock (Match box): OEM-12B
RF-On indicator
Mounting: Lamp mounted on remote AC box
Minicontroller
Heat exchangers: AMAT-0
No heat exchanger skins
No chiller
No H2O flow switch
No EMO guard ring
Mainframe:
Loadlock / Cassette options:
Tilt-out cassette loader
Elevator type: 15-Slots
No load lock lid lifter
Robot
Wafer position sensor
Umbilicals:
Remote signal cable lengths: 50 ft
RF Generator coax cable length: 50 ft
Smart pump interface cable length: 50 ft
Leak check ports
Minicontroller: 10 ft
No status light tower
Signal status indicator: Mainframe
No manual
Missing parts:
SEI Board
VGA Board
Stepper control board
(3) DI/O Boards
Hard Disk Drive (HDD)
Chamber B: Baratron gauge (10torr)
Monitor
Main to AC box power cable
Frequency: 50 Hz
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種用於高密度等離子體蝕刻和沈積的反應器。它旨在提供精確的高密度等離子體蝕刻、高通量和均勻性的晶圓處理，並具有非常低的功耗。它具有高壓、高真空室，具有更高效的高密度等離子體轉移和更好的均勻性，因為氣體流量增加，電子雲密度更好。它能夠在廣泛的壓力和溫度範圍內產生等離子體，從而能夠精確和控制蝕刻過程，從而提高表面質量和提高產量。AMAT P-5000反應堆由一系列組件組成，其中包括自動氣體混合設備、感應耦合等離子體源、離子源、離子源和高壓發生器。自動氣體混合系統允許對壓力、溫度和濃度等等離子體參數進行精確控制。感應耦合等離子體源提供了用於蝕刻的高密度等離子體，而離子源則用於控制等離子體的能量。此外，高壓發電機用於提供精確的能級，以獲得一致的結果。在其架構上，APPLIED MATERIALS P 5000反應堆具有閉環氣體控制單元，旨在最大限度地提高性能和降低汙染水平。它具有多個獨立的質量流控制器，溫度穩定性，傳感器反饋和閉環氣體控制，以確保準確的氣體輸送和在廣泛的基板尺寸均勻蝕刻。P5000反應堆還采用多層安全殼技術，如負壓安全殼和真空密封工具，以盡量減少汙染。此外，AMAT P 5000反應堆包括一個獨特的材料處理資產，與精密蝕刻模型協同工作，以確保精確和可重復的結果。總體而言，P 5000是一種高性能、經濟高效的反應堆，用於精確、精確的蝕刻工藝，具有極好的均勻性和屈服效果。APPLIED MATERIALS P-5000具有先進的功能和自動化的控制系統,是各種高級高密度等離子體蝕刻應用的理想解決方案。
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