二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9270691 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種先進的等離子體蝕刻反應器，設計用於生產晶體管、集成電路和光電元件等高性能納米設備。該反應堆在保持總體低擁有成本的同時，提供了優化的蝕刻速率、均勻性和選擇性。AMAT P-5000是一種單晶片模腔，電極間距為40厘米。蝕刻室有一個用於均勻蝕刻的旋轉惰性陰極和兩個平行的源，分別針對不同的工藝操作。APPLIED MATERIALS P 5000也有內置的清潔機制，有助於最大限度的減少顆粒堆積，減少晶圓表面的沈積。APPLIED MATERIALS P-5000利用先進的功率轉換、等離子體激發和信號處理技術來實現高蝕刻均勻性和控制,從而加快處理時間並提高設備性能。它還包括計算機控制的自動化控制設備，允許精確控制蝕刻參數。AMAT P5000還有一個集成的高真空系統，以盡量減少蝕刻工藝條件的任何有害影響。P-5000旨在通過低泄漏和低應力來提高設備性能。反應堆采用先進的氧化物蝕刻回法，降低有效氧化物厚度，最大限度地減少泄漏。該裝置還采用專利射頻匹配電路，減少蝕刻誘導應力，提高器件性能。P5000還允許對薄膜晶體管（TFT）進行熱和應力控制處理。這一過程涉及應用外部熱源熱激活薄膜以提高器件性能。此外，P 5000可用於摻雜劑的化學氣相沈積（CVD），使先進器件的制造成為可能。總而言之，AMAT P 5000是一種先進的等離子體蝕刻反應器，提供卓越的設備性能和生產力。該機器允許精確調整蝕刻參數、自動控制以及熱和應力控制處理,從而能夠制造高級設備。