二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9272623 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是專門為復合半導體和光電器件制造而設計的先進加工反應堆。AMAT P-5000采用垂直多層切片機設計，可以在一個室內同時執行多個過程步驟。此功能降低了整個過程的復雜性,並顯著提高了晶圓吞吐量。APPLIED MATERIALS P 5000具有增強的原位清洗設備,在蝕刻和沈積過程中保持恒定的低壓環境,最大限度地減少微粒汙染,並有助於保持正在制造的結構的均勻性。APPLICED MATERIALS P-5000通過提供出色的膜厚度均勻性、清潔界面和低缺陷濃度,促進了高質量結構的形成。對溫度、壓力和氣體進行自動化的現場監測,可以精確控制清除時間、溫度坡道和壓力設置等處理參數。此控制可確保最佳工藝性能,從而為復雜的結構產生所需的結果。P-5000先進的光刻能力允許創建簡單和復雜的圖樣,並降低缺陷率和更好的臨界尺寸控制。該系統提供兩個軌道能力，使兩個光刻步驟可以連續或並行在同一晶片上進行。該單元還支持小特征尺寸的高分辨率圖樣，允許制造高密度結構。除了自動化的過程控制機外，APPLIED MATERIALS P5000還提供了一個集成的計量工具，允許對晶圓參數如圖樣配準和薄膜厚度進行在線監控。這一先進資產有助於實時評估流程性能,從而優化流程參數並監控關鍵維度的一致性。P5000為復合半導體和光電器件的制造提供了一個理想的先進加工平臺。AMAT P 5000的高通量、優越的均勻性以及先進的工藝控制、光刻和計量能力使AMAT P 5000成為制造復雜半導體結構的絕佳選擇。