二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9276777 待售

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ID: 9276777
晶圓大小: 6"
優質的: 1992
CVD System, 6" Moving type: Transfer robot Non-SMIF type Main body AC Rack (2) Trans Monitor rack Heat exchanger Generator rack Mini controller LF Rack Gas cabinet Chamber A and B: CVD Chamber D: Mark II Robot Signal tower (3) RF Generators (3) RF Matchers Cassette module: Normal (3) Heater controllers: Chamber A, B and D Missing parts: Fan board Pneumatic valve Match bracket Mini controller connector damaged Power supply: 208 VAC, 180 A, 3 Phase (WYE), 50/60 Hz 1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是一種下一代沈積工具,其開發目的是使高質量的材料具有均勻性和效率。這種專門的沈積設備是為研究和制造各種電子設備而設計的。適用於晶體管制造、MEMS、半導體和高級封裝等多種應用。AMAT P-5000利用了一個靈活的PECVD腔室,該腔室設計用於處理溫度和設置。這樣可以在處理特定材料時提高性能水平。腔室內部為圓柱形,由不銹鋼制成,底部和頂部平整。與腔室相連的是一條短的同軸線,作為沈積源。為保證各種材料的均勻沈積速率,APPLICED MATERIALS P 5000配備了堅固的線性沈積控制系統。這一集成特性結合了反應性氣體註入和應用偏置,允許對氣體流量和功率密度等參數進行精確控制。此級別的控制使用戶能夠精確地創建多層結構和其他復雜的體系結構。此外,P-5000的設計使金屬-絕緣體-金屬(MIM)、有機金屬和金屬有機骨架等先進材料能夠低能沈積。這個性價比高的單元特別適合制造光電探測器和光伏電池等光電器件。除了其靈活的內部和控制機外,應用材料P-5000還提供卓越的溫度控制,以獲得穩定的結果.它配備了雙區水冷工具,可以對腔室和個別基板進行精確的熱控制。此級別的溫度控制可實現高級處理和可重復結果。最後,AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000是一種革命性的沈積資產,能夠在廣泛的適用材料中提供高性能的結果。其先進的沈積控制模型利用雙區水冷設備,在處理復雜結構時提供了更高的重復性和穩定性。因此,APPLIED MATERIALS P5000非常適合在研發和尖端制造方面的各種應用。
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