二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9279197 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種高性能、閉環、通用的等離子體反應堆設備,能夠精確制造各種電子設備結構。此工具提供了滿足當今高精度、高可靠性應用程序的嚴格要求所必需的靈活性、速度、準確性和過程控制。AMAT P-5000反應堆是一個自給自足的系統，具有強大的加工環境和廣泛的兼容過程氣體，如Ar、O2、H2、N2、He和各種各樣的混合氣體。它也是完全可升級和定制的，能夠從薄膜蝕刻和沈積到摻雜、化學/機械拋光和化學氣相沈積等一系列應用。應用材料P 5000反應器由基底電極拱頂和加工室兩個主要部分組成。基底電極拱頂的設計是利用基底載荷和卸載技術來優化屈服，以確保最佳工藝屈服。該加工室包含主等離子體、散射和蝕刻硬件，可實現精密應用所需的嚴格過程控制。P-5000反應堆的設計具有多種安全、健康和環境特點，包括能效、低排放和減少殘余危害。它還擁有較低的總體運營成本以及較低的維護運營。APPLIED MATERIALS P5000反應堆的控制單元設計為確保精密的過程控制，提供易於使用的圖形界面，以及多參數的過程調整和優化參數。這臺機器包含了廣泛的先進技術特點，如高精度的數字質量流控制器、集成的壓力控制器和集成的測溫工具。AMAT P 5000反應器是各種微電子器件結構的理想工具，從薄膜蝕刻沈積到高精度摻雜、拋光和化學氣相沈積。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反應堆以其全面的工藝控制、先進的技術特點和低維護運行，是精密制造的理想工具。