二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9288566 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是一種用途廣泛的高溫工藝室，用於各種半導體應用。這是一個連續流動、高溫的單位，被用來用各種材料製造出多種陣列，包括矽、砷化的、銅和的。AMAT P-5000由一個主體、一個多區域圓柱形腔室、四個運輸模塊和一個反應模塊組成。主體由不銹鋼容器和溫度控制系統組成。溫度控制系統是一個組合對流輻射系統，將腔室及其內容物加熱到所需的過程溫度。在加工室的另一端是一個氣體進入口，以氙氣和其他工藝氣體為原料。它還包含一個反應容器、一個熔爐和一組自動化的驅動電動機。多區圓柱形腔室是應用材料P 5000的心臟，在那裏發生等離子體增強過程。它由源區域、終極方法（UMM）區域和反應區域組成。源區提供射頻功率，使加工氣體電離。UMM區用於混合和沈積基板上的原料，覆蓋範圍均勻。反應區用於晶片的沈積和蝕刻，以及創建圖樣、特征和其他微觀結構。四個傳輸模塊負責基板的運動和加熱氣體在腔內的傳輸。前兩個模塊（載荷和卸載）位於腔室外部。它們打開並關閉以將晶片引入腔室，並在工藝完成後將其取出。剩下的兩個模塊Shuttle和GIS在加工室周圍形成緊密的密封，使加熱的氣體得以再循環，並防止其逃逸。最後，P 5000反應堆裝有反應模塊，由調節壓力並提供所需過程所需的直流功率和射頻功率的工藝室組成。它包含了一組工藝電極、交流和直流電源、等離子體發生器和可編程數字控制器。綜上所述，應用材料P5000反應器是一個堅固的高溫過程室，能夠持續高溫過程。它利用高壓和等離子體的組合來催化高端工藝。設計靈活高效，能夠生產結構復雜的高品質零件。