二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9291585 待售
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ID: 9291585
System
Chamber position: A, B, D
Downstream Plasma Apparatus (DPA)
Slit valve type: S Slit
Slit valve o-ring: Kalrez
Lamp module: Standard
Heater window: Quartz
Throttle valve: Cluster
No lamp module water flow switch
No Endpoint detector
No RGA port
Manometer:
VCR: 10T (Silane)
VCO
Process kit:
Wafer lift: Metal (Standard)
Pumping plate: 0020-30059
GDP / Blocker: 0020-30286 / 0020-34775
Gas delivery options:
Silane chamber, 8"
Pallet / Process / Flow / Cal / MFC
Position / Gas / Size / Gas / Type
1 / SiH4 / 500 cc / SiH4 / Unit 1660
2 / NH3 / 300 cc / NH3 / Unit 1660
3 / N2O / 3 slm / N2O / Unit 1660
4 / NF3 / 5 slm / CF4 / Unit 1660
5 / N2 / 10 slm / N2 / Unit 1660
RF frequency: Single.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是專為半導體生產而設計的最先進的制造設備。它是一種功能強大、用途廣泛的工具，可用於生產邏輯、內存、混合信號集成電路（IC）等多種不同類型的半導體器件。AMAT P-5000由幾個模塊組成，包括一個反應堆室、氣體分配系統和一個計算機化控制器。APPLIED MATERIALS P 5000的主要部件是反應器室，一個容納反應過程的不銹鋼單元。這個腔室可以配置成各種各樣的溫度、壓力和氣流，允許執行各種過程。腔室還裝有石英窗，可以對過程進行實時監測和性能分析。應用材料P5000還包括氣體分配單元和計算機化控制器.這臺機器確保正確的氣體混合物被輸送到腔室，無論加工條件如何。該工具還允許微調壓力、溫度和反應室尺寸等參數。這樣可以確保獲得所需的最終結果。最後，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000還包括若幹安全功能，包括低溫和高溫警報資產、壓力監測模型和超壓保護閥。反應堆還配備了傳感器，用於監測氣體的化學成分，有助於確保該過程的安全和高效。總之，P5000反應堆是制造半導體器件的一種功能強大、用途廣泛的工具。可以配置其廣泛的功能,以滿足各種流程的確切要求,從而確保獲得所需的最終結果。它的眾多安全特性也確保任何過程都是安全和高效的。
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