二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9291959 待售
網址複製成功!
ID: 9291959
晶圓大小: 6"
System, 6"
PTEOS Chamber
Oxide etch chamber
SiN Chamber
Short elevator.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種多功能、用戶友好、可靠的多室過程反應堆。它是專門為使各種材料以可靠和高度可重復的方式沈積到基板上而開發的。這使得AMAT P-5000一系列不同應用的完美選擇,如光學塗層、納米材料、超導體和半導體。APPLICED MATERIALS P 5000由三個不同的腔室組成,包括最多兩個生產腔室和一個單獨的裝卸腔室。生產室負責控制負責材料反應沈積的物理參數。該氣室具有獨立的氣線,可同時實現單一或多個氣源,使設備非常適合所有比例耗散技術。單獨的鎖載室可確保生產室保持適當的加壓和穩定的溫度。該系統的其余部分具有一系列高度先進的功能,可確保可重復的過程和可靠的沈積。這包括直觀的圖形用戶界面、實時單元控制和監控功能以及一系列溫度控制元素和安全功能等元素,以確保始終滿足嚴格的要求。P 5000機器還設有兩個獨立的Vacuum Subsystems,根據要使用的基板的具體要求提供一系列的能力。第一個真空子系統針對金屬和金屬氧化物沈積進行了優化,第二個針對氧化物、電阻和其他非金屬沈積過程進行了優化。這種靈活性允許工具與不同類型的基板一起使用,增加資產粗糙度,並允許一系列沈積動力學。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是尋求各種不同材料的精確和可重復沈積的人的理想選擇。憑借其三室設計、先進的用戶界面、直觀的實時控制和監控能力以及精確的溫度控制和安全元素,該模型提供了高度的可靠性和準確性。結合其快速生產過程和真空子系統功能,P-5000反應堆一定能提供各種不同應用所需的精確結果。
還沒有評論