二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9291960 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一個圓柱形等離子體反應器，設計用於半導體加工應用。它能夠處理直徑達300毫米的全晶片，並配有快速脈沖、大功率發電機。該設備利用具有射頻窗口的單個工藝室進行等離子體生成和幹擾抑制。該系統提供了一個統一和可重復的過程，這意味著生產時間可以最小化，並保持產品質量。AMAT P-5000包括高功率頻率脈沖發生器，具有專有的等離子體陣列設計。這項專利設計采用低功率開關元件和陰極，壽命延長，等離子體輸出均勻。頻率脈沖發生器使用戶能夠在一定溫度和壓力範圍內產生嚴格控制的放電。這項技術確保了穩定可靠的等離子體工藝，同時降低了維護和運營成本。APPLICED MATERIALS P 5000還具有屏蔽氣體單元、內部氣源和配電網絡。該機器允許用戶選擇所需的工藝氣體，如氙氣、氮氣和氫氣，並以用戶指定的比例和流量將它們輸送到等離子體室中。這允許嚴格控制蝕刻和沈積過程。AMAT P 5000為了精度和均勻性而打造，並配備了可變壓力控制工具。這樣可以將腔室設置為所需的壓力,並確保整個晶片的均勻性。此外,該資產還包括集成的流程監控和診斷模型。此設備記錄來自每個工藝步驟的信息,並允許用戶查看、測量和調整工藝配方。P-5000是用於半導體制造過程的強大而可靠的工具。憑借其全面的高功率等離子體發電和受控的均勻性能力，使用戶實現了最高的產量。它的前沿功能確保流程是可重復、高效和可靠的。