二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9291961 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9291961
晶圓大小: 8"
System, 8" (2) WSix Chambers Long elevator.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種全晶片間歇反應器,可用於氣體或液體輸送。這座反應堆具有一套獨特的特性,使其能夠提供廣泛的處理能力。AMAT P-5000有一個5區溫度控制設備,最多有三個區域的加工氣體,其中一個可以提供氮稀釋。反應堆由先進的控制系統控制,該系統提供直觀易用的界面,以及一套綜合的工藝參數,用於優化和一致的結果。APPLICED MATERIALS P 5000設計具有較大的鋼機械優勢和快速的翻蓋通道.這減少了設備設置和維護所需的時間。此外,還可以調整機器的高度和寬度,以適應您的特定工藝要求。可以容納幾種基板配置,包括100毫米、200毫米、300毫米和450mm半導體晶圓。這使得P 5000成為適合廣泛應用的工具,如外延生長、化學氣相沈積、原子層沈積等等。AMAT P5000反應堆采用五區微處理器控制的溫度控制工具。此資產可精確控制從室溫到900 °C的溫度。此外,熱區溫度的均勻性和穩定性可以調整,以適應個別要求。氣體輸送模型由四個獨立的氣源、截面體積質量流量控制器和調節器組成,提供了準確可靠的性能。液體輸送設備在可調溫度、壓力和流速下運行,以精確控制液體漿液,並用於層壓應用。P-5000反應堆具有先進的控制器和直觀的用戶界面.控制器提供有關當前流程參數的信息,以及有關流程開發的即時反饋。此外,還可以保護用戶權限,以確保訪問和控制系統。最後,AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000具有時尚而緊湊的設計,易於安裝並集成到您現有的生產線中。所有這些特性使得應用材料P5000一個高度通用和可靠的批式反應堆。
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