二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9294422 待售

ID: 9294422
晶圓大小: 5"
PECVD System, 5".
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是為半導體工業的廣泛應用而設計的反應室。AMAT P-5000是一種高性能、高通量的反應堆,為許多應用提供精確的晶圓加熱和統一的工藝條件。該反應堆有一個大尺寸的加工室,經過了大規模生產的優化,可容納直徑不超過8英寸的晶片。具有優良的溫度分布均勻性,保證了精密、重復的處理。APPLICED MATERIALS P 5000反應堆裝有兩個高質量、堅固的加熱元件。它具有一對堅固、易於更換的石英開槽襯裏組件,以便在所含氣體中實現最大均勻性。配有安全互鎖門,反應堆溫度可輕松調節,達到最佳性能。它還擁有最優質的高速渦輪機、真空系統、PID控制器和激光定位傳感器,以提供精確的過程控制。P5000具有良好的沈積均勻性和高通量,晶圓汙染減少。它的快速運輸時間比傳統反應堆低75%,這是因為它具有快速移動的旋轉熔爐和快速接觸室。此外,它還提供了接近零的粒子生成速率,在過程中額外的可靠性。應用材料P-5000反應堆的設計具有最大的靈活性。它提供了安裝眾多附件的選項,例如加熱器背面映射系統和激光定位傳感器,以實現極其精確和可重復的處理。此外,該沈積物的高斯分布是可調的,以確保整個晶片的沈積均勻。總體而言,應用材料應用材料P-5000反應堆是一個高性能、高通量的半導體工業反應室。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000配備了一對堅固的加熱元件、安全聯鎖門和一系列功能,可提供精確的過程控制,對於希望在項目上取得可靠和可重復結果的用戶來說,它是一個理想的解決方案。
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