二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9294469 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種完整的雙晶圓並聯板反應器設備，用於半導體和先進的光電器件制造。它的平臺具有高度的可配置性,可以同時對多個流程步驟進行精確和控制。AMAT P-5000由幾個關鍵組件組成。物理封裝，即PCB，是系統的主要處理器，提供對所有其他元件和過程參數的控制。這包括一個集成的氣體混合控制單元，溫度和壓力傳感器，以及一個帶冷陷阱的真空機。APPLICED MATERIALS P 5000使用平行板反應器設計，兩個對稱靜電板或電極放置在腔室的兩側。這種設計可以提高加工效率，降低工藝壓力，更好地限制反應物氣體。這些板是由石墨、陶瓷或金屬等材料制成的。由於基板放置在板之間，加工室的溫度和/或壓力可以用空氣或氣體混合物調節，由多氯聯苯調節，以操縱所需材料的生長速度。應用材料P-5000利用射頻能量幫助反應物氣體電離，使其有助於薄膜沈積。可以對電極的射頻功率進行調制，以觀察材料在不同條件下的生長。APPLIED MATERIALS P5000還提供集成的計量功能。它配備了幾種光學檢測工具來測量材料的最薄層。這些工具可以檢測通過樣品的光的幹涉，以及測量沈積層的厚度和樣品的表面積。這在暴露層表征和光學性能測量中非常有用。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是一種極為高效的反應堆工具,它為制造半導體和光電器件提供了一個嚴格控制的過程環境。P-5000結合了集成過程控制、模塊化反應堆設計和計量功能，是先進設備制造商的強大工具。