二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9294470 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是為工業用途而設計的化學氣相沈積（CVD）反應器。該反應堆為各種半導體、LED和平板顯示器制造應用提供了關鍵的支持技術。它是一個單晶片或雙晶片的四室反應器，具有旋轉的磁化器，能夠沈積介電、半導體和金屬薄膜。反應堆裝有機動化晶片載體，能夠根據需要加速或減慢其旋轉速度。兩個載荷鎖將多達兩個工藝晶片的先入先出（FIFO）載入四個感應加熱室。晶片載流子的運動保證晶片兩側的精確加熱。腔室通過四個相同的感光器加熱，每個感光器由一個調節旋鈕供電。這樣可以精確控制每個腔室的溫度。該工藝氣體由單一工藝供氣歧管供應。通過兩個電容壓力計對工藝運行壓力進行電子監測，以實現最佳真空控制。AMAT P-5000反應堆還具有自我診斷功能和數據記錄功能。晶圓傳輸通過照相機系統進行跟蹤和監控，照相機系統將晶圓跟蹤數據記錄在反應堆控制器的內存中。此外,APPLIED MATERIALS P 5000通過在晶圓的整個表面上提供均勻沈積,允許各種工藝配置。P-5000設計靈活可靠，反應堆可與SiN、AlN、SiO2、CET和鎢等多種材料配合使用。APPLICED MATERIALS的高吞吐量、短周期時間和可靠運行P5000使其成為工業規模生產薄膜的經濟高效選擇。