二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9296351 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種通用的高性能化學氣相沈積（CVD）反應器設備,用於矽基薄膜的高級沈積。AMAT P-5000是具有雙室配置的水平反應堆。它是為需要精確控制溫度、壓力和流量的高級沈積過程而設計的。該系統具有一個用於加工室負載鎖定的頂室和一個用於負載鎖定控制和晶圓傳輸的底室。APPLIED MATERIALS P 5000具有先進的可管理性功能,包括自動化過程、高溫能力和低壓操作以及精確的過程參數。它可以與標準的Silicon CVD工藝氣體一起操作，並具有可選的300 mm兼容性。綜合氣體管理控制反應溫度，能夠進行詳細的可重復溫度監測和均勻性控制。該單元還有一個專利的熱限制殼設計，消除熱分層。AMAT/APPLICED MATERIALS P-5000的加熱外殼設計為通過允許在兩個腔室中的每個腔室中獨立控制工藝氣體的溫度和壓力來提供最大程度的工藝性能重復性。它還具有上遊壓力調節以及內置的濕式/幹式真空機。P 5000具有自動化配方控制、遠程可編程流程參數和聯網能力等高級流程控制，用於監控和控制工具狀態和流程參數。它還具有對負載鎖定和晶圓傳輸系統的實時監控功能。綜合氣體管理資產、高溫能力和低壓運行都提供了更高的效率和重復性。最後,P-5000具有安全功能,如緊急關閉、可聽和可視警報以及安全的數據傳輸。該模型耐用可靠，易於維護，是濺射、CVD等先進沈積工藝的絕佳選擇。