二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9308001 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是一種通用的半導體基板加工工具，主要用於生產高性能微處理器和集成電路（IC）。該設備專為高通量運行而設計，其先進的晶圓處理子系統可實現快速裝卸，從而實現高通量。該系統由各種模塊組成，包括反應堆室、過渡室、邊緣出室和一個單獨的底物輸送單元。反應堆室是機器的主要部件，並容納專有的加工室，該室有一個旋轉輪，在加工過程中將晶圓穿過加工表面進行均勻加熱和冷卻。過渡室作為晶圓和邊緣退出室之間的接口，其中容納蝕刻、CMP和其他用於生產最終產品的工藝模塊。AMAT P-5000工具同時使用高真空和超高真空技術，為受控基板加工創造必要的環境。在加工室內部，基板可以暴露在高達850°C的溫度和低至10-8 torr的壓力下。該工藝室配有蝕刻資產、自旋塗層模型、CPL（化學蒸氣沈積）設備和光阻系統，所有這些都允許完整範圍的基材加工能力。圖像處理單元提供有關基板表面的信息,供工藝元件控制其功能。同時，邊緣出口室還配備了各種傳感器和掃描儀，以控制最終工藝的質量和均勻性。APPLIED MATERIALS P 5000單元是現代半導體生產線的重要組成部分，為創造下一代產品提供了一致可靠的平臺。它旨在降低生產成本並提高吞吐量,從而實現高效生產。利用先進的技術，AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反應堆可以確保產品以最高的材料質量和精度一致地生產。
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