二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9308744 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於高容量生產外延和同外延基板以及寬帶隙半導體器件，如碳化矽、砷化的和InP。該設備利用AMAT擴散和化學反應過程將薄的保形材料沈積在底物上。AMAT P-5000是一種高容量系統，每小時最多可產生1000個晶圓，設計用於生長寬帶間隙基板。它利用反應區、擴散區和氣體區，允許形成六邊形外延晶體。通過控制大氣壓力、工藝溫度和流量，APPLIED MATERIALS P 5000能夠生產出薄膜和同外延層。APPLICED MATERIALS P-5000利用具有預反應區和主反應區的兩區工藝。在預反應區，氣體以特定的流量和溫度引入。生成的等離子體將分子分解成較小的碎片，然後轉運到反應區。在反應區中，碎片以薄而保形層的形式沈積在底物上。流量也根據需要向上和向下增加,以便進行最佳的處理控制。P5000反應器還具有數字溫度控制、壓力控制和射頻匹配功能，可以精確控制工藝參數。開放式腔室設計還有助於確保不同的氣體和化合物可以用於特定的應用。該單元通過了防靜電部件的最佳安全性認證,以提高可靠性。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000是一種通用、高效的工具,用於種植先進材料。通過控制大氣壓力、工藝溫度和流量，機器可以可靠地生長出適合半導體器件的優質基材和材料。通過精確的控制和增強的安全功能，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000可以提供實現下一代技術所需的高性能材料。