二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9308754 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種AMAT反應器，主要用於處理半導體材料。它是一種高科技設備，可用於多種應用，包括化學氣相沈積（CVD）、原子層沈積（ALD）、物理氣相沈積（PVD）。AMAT P-5000能夠在高達200攝氏度的溫度下處理材料。APPLIED MATERIALS P 5000是一種單晶片、高通量、批處理式反應堆。反應堆室設計有六個熱隔離區，可以獨立加熱或冷卻。這有助於實現整個腔室的均勻熱分布。該室還配備了4氣料鬥、先進的壓力控制設備、電光視口和差分氣流配置。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000具有獨特的專利冷墻配置,能夠在較低的溫度下進行高通量處理。它還具有可選的電子束加熱技術，允許高溫處理，具有極好的熱均勻性。AMAT P 5000還具有「晶圓之間的石英間隔」（QSBW）模式，有助於增強均勻性和減少顆粒形成。此外,還可以使用集成的負載鎖定系統定制P-5000,用於大批量的裝卸。該單元還配備了真空隔離處理臂，以及自動射頻/直流等離子體源。AMAT P5000還有一個封閉熱平臺（CHP）冷卻歧管，設計用於在整個腔室和晶圓級提供均勻的冷卻。APPLICED MATERIALS P5000是一種用途廣泛、可靠的反應堆機器，為微觀和納米級的材料加工提供自動化、自我監控的過程。它是從薄膜和薄膜到復雜結構的各種類型的CVD應用的可靠、經濟高效的解決方案。
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