二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9311420 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，通常用於在半導體或相關基板上沈積薄膜。它采用低壓或真空的CVD系統，將前體氣體引入到工藝室內，與基板發生反應，以便沈積所需的薄膜。AMAT P-5000設計可同時容納多達八個單晶片基板，並且可以配置各種組件，允許特定的工藝要求。加工室由鋁構成；使用石英視口，在加工過程中對基板進行目視檢查。該室還配備了抗熱電子沈澱源，以及淋浴頭組件。電子沈積源為基板提供了發生該過程所需的能量，而淋浴頭組件則被用於各種各樣的預處理和後處理程序，包括預清洗、等離子體蝕刻和後清洗。該腔室還包括用於控制將前體氣體引入工藝腔室的質量流量控制器（MFCs），以及用於保持優越工藝均勻性的石英襯裏。APPLIED MATERIALS P 5000的控制器是一個單板電腦系統，具有5英寸、彩色VGA顯示屏、鼠標和膜鍵盤，允許用戶輸入命令。它還包括100多種食譜，這些食譜能夠儲存食譜以備日後召回。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000能夠沈積廣泛的材料和薄膜，包括介電材料如氧化鋁、氮化物和氧化物。此系統也用於沈積鋁、鎳、鈦等金屬。除此之外，P 5000還可以配置為處理有機金屬氣源。最後，AMAT P5000是薄膜沈積的重要工具，在半導體工業中得到了廣泛的應用。AMAT/APPLICED MATERIALS的各種組成部分P-5000允許出色的過程均勻性和控制性,以及處理多種不同類型材料的能力。