二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9311437 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應器是一種先進的等離子體增強化學氣相沈積設備(PECVD),用於定制膜的大面積沈積,如電介質、屏障塗層和氮化物。該系統可用於在高達1370 cm2的區域上沈積薄膜,允許復雜的大面積沈積過程。它旨在為用戶提供高吞吐量、統一影片和高質量的效果。該裝置利用射頻、微波和熱絲技術,在反應堆室內控制激發分子,創造出可用於形成薄膜的等離子體環境,厚度在10nm-500nm之間。AMAT P-5000的等離子體源也可用於安全高效地調節等離子體密度,以獲得最佳性能。該機配備了先進的過程控制功能,包括壓力和溫度控制,以及自動測試和調諧能力。它也是一種高速沈積工具,提供快速和沈積均勻性控制。APPLIED MATERIALS P 5000還采用了各種自動化功能,如從一個過程自動切換到另一個過程,以及實時自動調整壓力、溫度和過程參數的可能性。該資產還具有很高的適應性,能夠處理各種薄膜生長過程,而不是那些有限的PECVD過程。這包括功能膜的處理、接觸填充、介電鈍化、屏障層等過程。該模型還為加工聚合物提供了優化的條件,並且可以填充大面積的基板,如柔性和剛性面板,具有高精度的圖樣加工工藝。在安全性和可靠性方面,AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反應堆通過設備傳感器進行主動監測,使用戶能夠在其中任何參數超過設定限值時,通過自動通知實時監測其工藝參數和設備健康狀況。該系統還設計為在減少維護的情況下運行,其中央清潔站可最大限度地降低成本並增加正常運行時間。最後,AMAT/APPLICED MATERIALS P-5000 UV/VPE設備易於設置和使用.其直觀的用戶界面使用戶能夠快速了解如何監控、控制和操作機器,使其成為所有用戶的可靠且經濟高效的工具。
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