二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9312458 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種先進的等離子體反應器，設計用於大面積、低壓和半大氣化學氣相沈積、濺射和蝕刻等工藝。AMAT P-5000設備提供了極端真空性能、高功率射頻和過程靈活性的無與倫比的組合，擴展了等離子體增強技術的能力。該系統具有一個大的6英寸腔室，可滿足200毫米以下的晶片負載。它還包含一個用於UV-CVD應用的短弧氙燈，以及一個用於快速準確裝卸的低負載鎖。APPLICED MATERIALS P 5000高度可定制,這要歸功於工藝室設計,使其能夠適應一系列沈積和蝕刻應用,包括鈣鈦礦氧化物和電介質的沈積、MEMS器件的蝕刻以及功能化納米管的生成。機組配備了一套先進的控制系統，如電源機，有兩個獨立調節的電源；室內條件控制；反應性化學控制；和配方記憶控制。此外，它還集成了實時監測技術參數的診斷，並提供了對反應的完整的過程後分析。此外，它使用射頻發電機，由於其高功率輸出，使得能夠使用高處理速度和縮短循環時間。利用其強大的等離子體源和先進的控制工具，APPLIED MATERIALS P-5000實現了高純度反應物種類的均勻混合，從而降低了粒子計數，提高了吞吐量。這使得資產成為研究、開發和生產高性能薄膜的理想之選。此外，P5000還具有多種安全功能，包括火災報警器、非易失性安全鎖和安全回路，有助於預防危險過程或模型故障。這些措施顯著降低了流程風險，使用戶能夠最大限度地提高生產率。總而言之，P-5000是要求等離子體過程的完美平臺。AMAT/APPLICED MATERIALS憑借其寬大的腔室、先進的工藝控制設備和眾多的安全特性,為廣泛的應用提供了無與倫比的性能和可靠性P-5000。