二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9351761 待售

ID: 9351761
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
CVD System, 8" Process: LTO CVD, TEOS 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種最先進的反應堆,旨在實現半導體生產中準確高效的樣品處理。AMAT P-5000采用強大的倒線性設計和可互換吊艙,通過提供最高精度和精確度提高了生產過程。該機具有超穩定的真空包層樣品級,能夠支撐多達四個晶片,並允許基板在各個方向高度可重復移動。數字控制的、電容耦合的、低溫負載鎖定有助於控制晶片進出反應堆的轉移,並在熱保護下免受背面汙染。APPLICED MATERIALS P 5000通過其先進的由兩根RuO ¬ 2層鉬熱條和一根大功率石英管組成的雙加熱設備實現了卓越的溫度均勻性、熱精度和溫度範圍。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000所獲得的卓越的溫度均勻性和精確度有助於確保即使在處理高度敏感的過程時也能獲得準確的基板加工結果。詳盡的安全措施使P5000成為最安全的反應堆設計之一。其最先進的警報系統考慮到溫度、真空壓力和其他單位參數的任何變化或不規則性,並在發生任何變化後立即通知工作人員任何不規則性。P-5000還具有獲得專利的掩蔽技術,可降低人員接觸有害顆粒的風險。AMAT P 5000除了具有卓越的精確度和精確度外,還可實現快速可靠的樣品處理,周期時間短,工藝選項廣泛。這臺高性能機器非常適合用於高容量生產環境或處理速度提高的設施。為確保卓越性能,AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000采用開放式體系結構進行設計,增強了機器的靈活性和集成能力。反應堆配備了高精度、多傳感器數據采集硬件和軟件,能夠監測過程的每個階段,以確保所有參數保持在設定的限度內。總體而言,APPLIED MATERIALS P-5000是工業領先的生產環境反應堆。
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