二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9373099 待售
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ID: 9373099
CVD system, 6"
SV21 SBC Board
Main frame type: Mark-II
Cassette indexer, 6" clamp
8-Slots elevator
(2) CRT Monitors
Robots: Phase-III
Robot blade: Standard vacuum
Center finder: USE
Cap wafer sensor
AC Rack: 1 Shrink
Heat exchanger
EMO Option: Turn to release
EMO Button guard rings
Status light tower (Color / Position): Red, yellow, green, blue
Signal cable: 25'
Flash Hard Disk Drive (HDD)
Floppy: 3.5" SCSI Driver
Gas panel: 12 Channels standard / Minicontroller
RF Generator:
Chamber A: OEM12B-07
Chamber B: OEM12B-02
Chamber C: OEM12B-02
Chamber:
Chamber position: A, B, D
Chamber type: DLH 1-Hole
Process: SiH4 Oxide
Heater type: Lamp
Susceptor type: Al
(3) Matches
Delta nitride dual spring throttle valve
Gas panel: 20 Standard channels
Gas supply: Top down
MFC: SEC4400MC
Manual valve: NUPRO
Pneumatic 2-Way valve: NUPRO
MKS 122B Baratron gauge, 10 Torr
Gases:
Gas / Range
N2 / 3 SLM
SiH4 / 100 SCCM
CF4 / 2 SLM
N2O / 2 SLM.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種市售的高容量特高壓反應堆，設計用於各種超高溫工藝。該設備旨在提供卓越的清潔度和溫度均勻性,同時還提供高水平的吞吐量和生產率。它由不銹鋼制成，有多種用戶選擇的飾面。該系統具有高性能的噴水輔助沈積單元，為均勻、可重復的沈積過程控制提供高效的能量輸入和基板加熱。該機還提供高速掃描和全脈沖等離子體激發能力。該工具的核心是一個超高真空、高性能的反應堆室。該腔室的設計目的是為超高真空環境提供長泵送周期，實現各種超高溫過程，如濺射、高溫蒸發和其他幾種化學氣相沈積過程。AMAT P-5000的高溫、均勻性和模塊性允許在一項資產中測試各種工藝參數和材料。APPLIED MATERIALS P 5000型號還配備了先進的材料處理和定位系統。這包括晶圓定位設備和可用於操縱部件的機械臂，這兩個部件都能夠在所有三個互補的運動軸上運行。該系統還包括用於精確零件定位和點對點運動的線性級，以及用於精確零件定位的3維編碼器。此單元允許將組件高效、可重復的裝卸到腔室中,並使用戶能夠獲得所需的處理結果。P5000機器的設計支持各種工藝配方，包括保形沈積和蝕刻加工。穩定的高溫環境和可調節的氣體輸送工具使其適合多種應用。資產還包括綜合流程監測工具，如現場監測工藝室和噴射沈積薄膜。集成的過程中監控模型提供實時流程反饋，允許用戶及時調整，以提高生產產量和質量。AMAT P 5000反應堆是一個理想的選擇，為用戶尋找一個優化和高產的過程平臺的一系列沈積和蝕刻過程。它結合了高效的能量輸入、高溫均勻性和集成的過程控制能力，成為高效和可重復生產運行的理想選擇。其用戶友好的設計意味著即使沒有經驗的用戶也可以快速設置和運行設備，以達到最大的工藝產量。
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