二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9377269 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種高性能生產反應堆，利用Ultrashort Pulse （USP）激光處理技術，使微粒或散裝材料能夠精確和可預測地沈積到基板上。它是一種金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）設備，使金屬有機膜在基板上高溫生長。AMAT P-5000的模塊化系統建立在一個高效的平臺上，提供了對特征大小、出色的材料相互作用和可靠的薄膜性能的卓越控制。其負載鎖定能力有助於在保持低功耗的同時實現卓越的薄膜均勻性。該單元擁有強大的軟件平臺，使用戶能夠對過程參數進行編程和控制，如壓力、溫度、氣流、材料註入等。它還可以配置為生產廣泛的材料成分，如III-V合金、多晶矽、氧化物、氮化物以及多種其他專用材料。此外,APPLIED MATERIALS P 5000還能夠實時監控和調整薄膜厚度,以確保可靠且可重復的性能。反應器室的設計是為了創建一個均勻的流場，並確保在整個基板上均勻的沈積速率。它能夠進行高溫高壓處理，設計目的是盡量減少物質損失和汙染。該室具有多種氣體和源噴射器，可精確控制沈積速率，可進行大面積晶片和基板塗層。P 5000配備了一大堆安全功能，確保安全準確運行。其中包括溫度和壓力聯鎖、自動關閉協議以及腐蝕和汙染保護。該機器還包括一個腔室摻雜工具，使底物與氮氣或碳化合物精確摻雜，以及傳感器監測腔室內的底物溫度、腔室壓力和材料/氣體水平。先進的USP激光P5000工藝及其其他特點使其成為執行各種沈積工藝的通用工具。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000是高性能生產環境的最佳選擇。