二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9377274 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應器是一種先進的離子植入設備，旨在在廣泛的工藝和集成要求下提供卓越的性能。利用最先進的離子源技術，AMAT P-5000反應堆提供高達每小時500晶圓的工藝速度，使其成為當今市場上最快的沈積系統之一。該系統允許用戶通過使用先進的前等離子體和後等離子體控制來量身定制植入過程，以滿足他們的特定需求。這允許用戶針對所有生產條件優化植入工藝。預等離子體優化在整個晶片上提供增強的離子能量均勻性，並允許在植入過程中進行更大的過程控制。同時，等離子體後階段允許針對不同的設備結構量身定制工藝，進一步提高控制和可靠性。APPLICED MATERIALS P 5000還具有內置的控制接口,易於可靠操作。這允許用戶根據需要調整參數，允許更高效的植入過程。嵌入式端點監控功能使用戶能夠快速修改步驟重復程序和其他關鍵參數,從而幫助縮短周期時間並最大限度地提高流程效率。AMAT P5000采用封閉式、低燃氣負荷的爐子來保持真空，以確保更好的薄膜質量。這減少了基材中顆粒和雜質的數量，形成了質量更高的薄膜。這通過內置的準直單元得到進一步增強，該單元提供了離子的均勻且有針對性的植入。最後，P-5000利用先進的模擬和數字反饋系統進行設計，以改進過程控制和定制。例如,用戶可以調整總植入率和掃描寬度。這使得處理過程變化更加容易，進一步提高了過程的準確性和控制。APPLIED MATERIALS P-5000是一款功能強大且可靠的機器,具有卓越的性能和性能。AMAT P 5000通過先進的離子源技術、前後等離子體優化、內置控制界面等特點，為用戶提供了簡化的離子植入工藝方法，提高了生產率、產量和可重復性。