二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9385160 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種用於生產或研究實驗室的高端、高通量、多晶圓加工反應器。它與標準200 mm晶圓兼容,並提供12英寸晶圓功能,可選配多達24英寸晶圓。該反應堆具有較高的溫度均勻性和過程可重復性，具有較高的熱穩定性，可實現較高的性能。AMAT P-5000通過集成的多模塊基板加載提高了吞吐量,從而減少了停機和停機成本。反應堆能夠以各種構型進行蝕刻、沈積和濺射等工藝步驟。其先進的控制設備提供了卓越的過程控制以及隨時監控過程狀況的能力。該系統可以很容易地連接到其他可控的外圍設備，如質量流控制器（MFC）和負載鎖定系統，從而能夠有效地處理廣泛的過程限制。APPLICED MATERIALS P 5000還提供了最多3000W個基板加熱器，以加快工藝運行，減少氣體消耗，改進熱循環處理。統一的多工藝室單元可實現並發多晶圓隧道，提高生產吞吐量。各種工藝室配置每個工藝最多可容納兩個2英寸或一個3英寸晶圓。通過控制機提供的現場監控有助於優化過程而不犧牲吞吐量。該工具的主要特點之一是能夠處理廣泛的反應性蝕刻和沈積過程，包括濕蝕刻、定向蝕刻和側壁沈積。這種過程需要高度的化學控制和探針安全。該反應堆具有增強的安全特性，包括原位氣體輸送、凈化氣體輸送和惰性氣體反壓能力，以加強晶圓處理。P-5000反應堆非常適合滿足當今苛刻的研發和生產要求。它的高級流程控制和多個內部流程室配置為用戶提供了無與倫比的流程控制。該資產可以輕松集成到現有的模型體系結構中,同時保持質量性能和可靠性。利用APPLIED MATERIALS P5000,用戶可以實現更高的晶圓吞吐量、更好的過程重復性和更大的過程控制。