二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9389401 待售
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ID: 9389401
晶圓大小: 6"
CVD System, 6"
SV21 SBC Board
Main frame type: Mark-II
Cassette indexer, 6" Clamp
8 Slots elevator
(2) CRT Monitor
Robots: Phase-III
Robot blade: Standard vacuum
Centerfinder: USE
Cap wafer sensor
AC Rack: 1 Shrink
Heat exchanger
EMO Option: Turn to rekease
EMO Button guardrings
Status light tower (Color / Position): Red, Yelow, Green, Blue
Signal cable: 25'
Flash hard disk drive
Floppy: 3.5" SCSI Driver
Gas panel: 12 Channels standard / Minicontroller
RF Generator:
Chamber A: OEM12B-02
Chamber B: OEM12B-02
Chamber C: OEM12B-07
Chamber:
Chamber position: A, B, D
Chamber type: DLH 1-Hole
Process: SiH4 Oxide
Heater type: Lamp
Susceptor type: Al
(3) Matchers
Delta nitride dual spring throttle valve
Gas panel: 20 Standard channels
Gas supply: Top down
MFC: UFC-1660
Manual valve: NUPRO
Pneumatic 2-Way valve: NUPRO
MKS 122B Baratron gauge, 10 Torr
Gases:
Gas / Range
N2 / 3 SLM
SiH4 / 100 SCCM
CF4 / 2 SLM
N2O / 2 SLM.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反應堆是半導體工業中用於提高工藝性能和監控器件可靠性的高質量可靠工具。這類反應器通常由離子源、加工室和電子槍組成。離子源用於產生受控等離子體，用於將材料沈積在工件表面。工藝室充當反應室，其中等離子體被修改為所需的工藝條件。這是通過控制氣流、壓力、功率和其他參數來實現的。電子槍是一種強大的電子束，用於物理修飾被處理材料的表面。AMAT P-5000反應堆的主要特點是能夠提供精確和可重復的處理結果，以及能夠進行敏感的過程監測。這類反應堆依靠多通道反饋系統和先進的自動化軟件來確保一致、可重復的結果。這類反應堆還有一個先進的診斷系統，可以監控組件的狀況，從而可以更有效地利用資源。APPLIED MATERIALS P 5000反應堆相對緊湊堅固，非常適合在惡劣環境中使用。它還具有一個集成的診斷系統,可監視和記錄整個過程中的數據,從而實現高效的操作、故障排除和維護。此外,該設備還提供安全的工作環境,具有防止和監控意外過熱或電源關閉的安全功能。P5000反應器非常適合在半導體工業中的各種應用，並且經常用於沈積和蝕刻過程。它能夠處理具有高電性、熱性和光學性能的基板，使其適用於包括聚合物、陶瓷、金屬和復合半導體在內的一系列材料。再者，反應器可用於廣泛的過程，如離子註入、PECVD、濺射以及多種化學蝕刻應用。總之，APPLIED MATERIALS P5000反應堆是半導體工業中使用的一種先進、可靠、精確的工具，用於提高工藝性能和實現更精確的監控。它具有多種功能,非常適合各種應用程序,可提供精確和可重復的結果、精確的監控,以及在安全的工作環境中運行可靠。是半導體工業精密加工的理想選擇。
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